[한국공학대학교] 다이아몬드 기판 제조 방법

○ 기술개요

고품질의 단걀정 다이아몬드 기판을 이종 성장하여 자가 분리시키는 단결정 다이아몬드 기판의 제조 방법에 관한 기술
사파이어 등의 기판 상에 포토레지스트 패턴 및 에어갭 형성막 물질을 열처리하여, 하부기판의 결정적 상관성을 갖는 에어갭 구조를 형성한 후 다이아몬드를 성장시킴

○ 기술특징

현재 반도체 소자용 단결정 다이아모드의 성장은 고온•고압법을 사용하며, 이 방식은 매우 작은 크기의 다이아몬드만을 획득할 수 있어 많은 비용이 요구됨
이종기판과의 격자상수 및 열팽창 계수 차이에 의해 큰 용력이 도입되어 온도 하강 시 많은 결함과 크랙을 유발함

2. 본 기술의 우위성

본 기술은 간단한 공정과 저비용의 성장법을 적용하여, 이종기판과의 격자상수 및 열팽창계수 차이로 인한 용력을 완화시키고 온도 하강 시에도 결함이나 크랙 발생을 감소시킴
이종기판으로부터 다이아몬드 기판의 자가 분리가 용이하게 이루어질 수 있음

○ 기술개요 무선 네트워트를 이용하여 시설물이나 단말을 원격으로 모니터링하고 제어할 수 있는 기술 ○ 기술특징 기존 기술의 한계 종래 기술은 시설의 개별적 제어가 불가능해 히터가 동시에 켜지고 순간적으로 큰 돌입 전류가 흐르면서 과도한 전력이...

○ 기술개요 본 기술은 CAN 통신 시스템에서 보안 방법 및 장치에 관한 것으로, 데이터를 다수의 블록으로 분할 후 셔플링을 통해 암호화하는 데이터 보안 방법 및 장치에 관한 것임 ○ 기술특징 기존 기술의 한계 차량 시스템이 전자동화됨에 따라...

○ 기술개요 본 기술은 인지통신 시스템의 비활성 상태에서 주변 후방 산란 통신 시스템의 비트 오류율을 낮추고 데이터 전송율을 높일 수 있는 무선 주파수 송신 장치를 포함하는 주변 산란 통신 시스템 ○ 기술특징 기존 기술의 한계 무선 인지통신...

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